超精密加工技术是20世纪60年代提出的,它是提高机电产品性能、质量、工作寿命和可靠性,以及节术栉能的重要途径,超精密加工是指加工误差小于0.1m ,表面粗糙度小于Ra0.025Ixm的加工技术,也称为亚微米级加工,超精密加工技术水平是一个国家制造工业水平的重要标志之一。
超精密加工中除了液压、气压源的波动外,工作环境对加工质量的影响很大,因此,工作环境是保证加工质量的必要条件,工作环境主要有温度、净化和防振等方面的要求。环境温度变化对机床精度的影响尤为显著,包括环境温度变化在内的热因素引起的加工误差占总加工误差的(40 70)%灰尘的混入会使工件表面划伤,而影响其表面质量;加工过程中如发生振动,会使工件已加工表面上出现条痕或布纹状痕迹,使表面光洁度显著下降。
随着超精密加工精度要求越来越高,对加工环境的要求越来越严格,仅从影响超精密加工精度的供气压力波动,环境温度变化,外界和自身振动三方面进行了分析,影响超精密加工精度的因素是多方面的,要提高超精密加工精度,不但要了解其影响的因素,还必须掌握解决途径
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